DY700-910SP陶瓷抛光机主要用途:
本设备主要用于蓝宝石衬底、蓝宝石外延片、硅片、陶瓷、石英晶体、其他半导体材料等薄形精密零件的单面高精密研磨及抛光。
设备特点:1.本设备为单面精密研磨设备,采用先进的机械结构和控制方法,研磨加工效率高,运行稳定。
2.整机采用PLC+触摸屏控制系统,设备参数设置和操作简单方便,系统稳定性高。
3.主电机采用变频调速控制,实现主机软启动、软停机,降低设备运行冲击,减少工件损伤。
4.工件研磨压力采用气缸加压方式,通过电气比例阀控制实现压力的闭环控制,保证极高的施压精度与稳定性。
5.上压盘采用主动驱动方式,在确保产品研磨速率的前提下保证各工位研磨加工的统一性。
6.研磨盘与上压盘都设置了冷却水冷却功能,在保证研磨液发挥最大效率的同时减少研磨盘面的变形。
7.设备自带盘面修整机,盘面修整后可保证0.01mm的盘面平整度。
设备参数如下:
型号:DY700-910SP
磨盘规格:700mm
陶瓷盘直径:240-260mm
主电机功率:4KW/380V
压盘电机功率:0.4KW/380V*4(选配)
主电机转速:100rpm(max)
设备工位数:4个
设备规格:1200*1500*2300mm
设备重量:2000KG