主要用途：
该双面研磨机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体、光电玻璃及其他硬脆材料的双面高精度研磨、抛光。
工作原理：
2．本系列研磨机为超高精密研磨设备，上、下研磨盘作相反方向转动，工件在载体内作既公转又自转的游星运动。磨削阻力小不损伤工件，而且两面均匀磨削生产效率高。
2．本系列研磨机修整机构采用油压悬浮导轨前后往复运动，金刚石修面刀给研磨盘的研磨面进行平面修整。
特 点：
1． 本系列研磨机的上、下研磨盘可进行自动修盘。
2． 采用四个电机同步拖动，变速范围更广，运动精度更高，响应速度更快，能适应不同研磨材料及研磨工艺的要求，实现了软启动、软停止，调速稳定，冲击小。
3． 修面机采用伺服马达驱动，能确保油压悬浮导轨滑动更加平稳，得到的平面修整效果非好。
4． 控制系统中采用DSP、Web-link、彩色终端等先进技术，系统的响应速度更快、更精确，并具有远程监控，远程维护功能；
5． 本系列研磨机有光栅厚度控制系统，加工后的产品厚度公差可控制在±0.002mm范围内。
技术参数：
| 型 号 | DI-200MX |
| 研磨盘规格： | φ635×φ240×12t |
| 最大加工工件尺寸 | φ200mm |
| 工件平面度（25mm） | ±0.2u以内 |
| 工件平行度（25mm） | ±0.4u以内 |
| 工件粗糙度（石英材料） | 0.4nm以内 |
| 研磨盘修面后平行度 | ±2u以内 |
| 游轮规格 | φ230mm |
| 游轮数量 | 5 枚 |
| 下研磨盘转速 | 0~140rpm |
| 下研磨盘电机功率 | 2.2kw 3相380V |
| 上研磨盘研磨转速 | 0~60rpm |
| 上研磨盘电机功率 | 1.5kw 3相380V |
| 上研磨盘修面转速 | 0~140rpm |
| 上研磨盘修面电机功率 | 0.75kw 3相380V |
| 太阳轮转速 | 0~60rpm |
| 太阳轮电机功率 | 0.75kw 3相380V |
| 外齿轮转速 | 0~30rpm |
| 外齿轮电机功率 | 0.75kw 3相380V |
| 修面机速度 | 200mm/分钟 |
| 修面机伺服马达功率 | 750w |
| 外形尺寸： | 1200×1650×2400mm |
| 重量： | 2300kg |
