SCI FillmTek 2000薄膜测厚仪?是薄膜计量技术的一大突破。Filmtek 2000将光纤光谱仪和革命性的材料建模软件结合在一起，为同时测量薄膜厚度、折射率和消光系数提供了一个负担得起和可靠的工具。FilmTek 2000提供无与伦比的准确性，易用性和分析能力，在一个完全集成的软件包。最适合于图案化的设备晶片，FilmTek 2000米允许测量点的尺寸小到2μm。FilmTek 2000 PAR利用SCI的抛物面反射镜技术开发的FilmTek 4000 EM-DUV达到50μm测量光斑大小，同时测量波长从深紫外到近红外。
薄膜测厚仪特点
多功能：FilmTek 2000集成了SCI的广义材料模型和先进的全局优化算法，可同时测定：
- 多层薄膜的厚度
- 折射率[n(λ)]
- 消光(吸收)系数[ k(λ) ]
- 能带隙[ Eg ]
- 组分和空隙率
- 表面粗糙度
薄膜测厚仪
http://www.chem17.com/st342761/product_31247040.html
http://www.labmates.com.cn/Products-31247040.html
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商家资料
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