ThermoScientific™Helios™5LaserPFIB显微镜特点:
☆对于毫米尺度的截面,快的材料去除速度比典型的Ga+FIB要快15,000倍
☆统计相关的亚表面和3D数据分析,在更短的时间内获得更大的体积
☆可重复的切割放置与三束重合在样品上
☆通过提取亚表面TEM薄片或块快速表征深部特征,用于三维分析
☆高通量处理具有挑战性的材料,如不导电或离子束敏感样品
☆快速和简单的表征空气敏感样品,对于成像和截面制备不需要在不同仪器之间转移
☆包含Helios5PFIB平台的所有功能,包括高质量的Ga-freeTEM和APT样品制备以及极高的高分辨率成像能力
飞秒激光PFIB
大体积:2000×2000×1000μm3
大束流:~1mA(等效于离子束电流)
切割束流:74μA
束斑尺寸:15μm
激光集成:3束(SEM/PFIB/laser)完全集成在仓室中,并具有相同的重合点,
实现可重复的切割位置和3D表征。
一次谐波:波长1030纳米(红外),,脉冲持续时间<280fs
二次谐波:波长515纳米(绿),脉冲持续时间<300fs
电子光学:
☆三束重合点WD=4mm(与SEM/FIB相同)
☆可变物镜(电动)
☆极化:水平/垂直
☆脉冲频率:1kHz~1MHz
☆束流位置精度:<250nm
保护挡板:自动SEM/PFIB保护挡板
软件:
☆激光控制软件
☆激光三维连续切片工作流程
☆EBSD激光三维连续切片工作流程
☆激光编译
安全性:连锁激光器外壳(一级安全)
更多:PFIB显微镜
http://www.opton17.com/SonList-2220645.html
https://www.chem17.com/st439186/product_34291969.html