产品亮点:
1、六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, >200Hz被动隔振);
2、5-20ms响应时间;
3、低频隔振性能Y异,安装和使用简单;
4、系统主动检测输入振动并动态消除;
5、紧凑、模块化的多功能设计;
6、稳定性高,能无G障连续使用多年;
7、无低频共振、无空气要求。
应用范围:
超高真空扫描探针显微镜(UHV-SPM);
光刻工具;
精度计量工具;
光谱仪器;
升级选项:可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果,隔振频率低频段延伸至0.5Hz。
更多产品信息来源:http://www.dymek.com.cn/SonList-2165937.html
https://www.chem17.com/st110205/erlist_2165937.html