quantum efficiency传统 QE 系统在新型光传感器测试的挑战:
1.市面上的量子效率系统多为”功率模式”。
2.随行动装置的大量普及,先进光传感器如 APD、SPAD、ToF 等,组件收光面积均微型化,有效收光面积由数十微米到数百微米 (10um ~ 200um)。
3.光束聚焦的”功率模式”,用来测量小面积的先进光传感器的问题:
*难以将所有光子,完全打进微米等级的有效收光面积(无法达到功率模式的要求) => -- EQE 值难以取得。
*在聚光模式下,难以克服光学色散差、球面像差等带来的测量误差。 => EQE 光谱曲线不正确。
*难以整合探针台
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