Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 80
上海伯东销售维修德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 80 抽速可达到 71 l/s 高性能涡轮分子泵. HiPace 80 对所有气体的高抽速和更高压缩比使其广泛应用于真空行业. 集成驱动电路, 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54, 半导体 S2, UL / CSA 认证. 通过控制器监控运算数据尽可能保证分子泵的安全性. 涡轮分子泵 HiPace 80 可以任意位置安装. 自然风冷, 多种配件可选满足广泛应用.
涡轮分子泵 HiPace 80 特性
稳健性工业设计和经过实践证明的高可靠性分子泵轴承系统
结构紧凑, 满足更小的安装空间要求
分子泵高气流量和高抽速
基本款任意角度安装
防护等级 IP 54, 符合工业环境要求
可应用于腐蚀性气体工艺
分子泵通过 SEMI S2 和 UL 认证
涡轮分子泵 HiPace 80 技术参数
|
进气口 |
DN 63 ISO-K |
DN 63 CF-F |
DN 40 ISO-KF |
DN 63 ISO-K |
DN 63 CF-F |
DN 40 ISO-KF |
|
|
图片 |
|
|
|
|
|||
|
分子泵控制器 |
型号 |
标配 |
标配 |
标配 |
选配 |
选配 |
选配 |
|
抽速 |
Ar L/S |
66 |
66 |
30 |
66 |
66 |
30 |
|
H2 L/S |
48 |
48 |
38 |
48 |
48 |
38 |
|
|
He L/S |
58 |
58 |
41 |
58 |
58 |
41 |
|
|
N2 L/S |
67 |
67 |
35 |
67 |
67 |
35 |
|
|
压缩比 |
Ar |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
|
H2 |
1.4X105 |
1.4X105 |
1.4X105 |
1.4X105 |
1.4X105 |
1.4X105 |
|
|
He |
1.3X107 |
1.3X107 |
1.3X107 |
1.3X107 |
1.3X107 |
1.3X107 |
|
|
N2 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
|
|
全转速时气体流量 |
Ar hPa l/s |
0.54 |
0.54 |
0.54 |
0.54 |
0.54 |
0.54 |
|
H2 hPa l/s |
15.3 |
15.3 |
15.3 |
15.3 |
15.3 |
15.3 |
|
|
He hPa l/s |
2.7 |
2.7 |
2.7 |
2.7 |
2.7 |
2.7 |
|
|
N2 hPa l/s |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
|
|
极限压力 |
hPa |
＜1X10-7 |
＜5X10-10 |
＜1X10-7 |
＜1x10-7 |
＜5x10-10 |
＜1x10-7 |
|
-大预抽真空 |
N2 |
22 |
22 |
22 |
22 |
22 |
22 |
|
电压 |
VDC |
24 |
24 |
24 |
24 |
24 |
24 |
|
-大电流 |
A |
4.6 |
4.6 |
4.6 |
5.5 |
4.6 |
4.6 |
|
转速± 2 % |
RPM |
90000 |
90000 |
90000 |
90000 |
90000 |
90000 |
|
声噪 |
dB(A) |
≤48 |
≤48 |
≤48 |
≤48 |
≤48 |
≤48 |
|
允许-大磁场 |
mT |
3.3 |
3.3 |
3.3 |
3.3 |
3.3 |
3.3 |
|
启动时间 |
min |
1.7 |
1.7 |
1.7 |
3 |
3 |
3 |
|
重量 |
kg |
2.4 |
3.8 |
2.4 |
2.1 |
3.5 |
2.1 |
* 控制器选择 TCP 350, 可以使分子泵在辐射环境中使用
Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 80 套装:
上海伯东提供完整的分子泵套装供您选择, 包含一台 HiPace 80 分子泵主机和控制电源等, 分子泵套装满足基本的应用, 可以安装在所有情况下并轻松调试涡轮分子泵. 套装内配置如下:
|
分子泵 |
分子泵电源与控制器连接线 |
风扇 |
OmniControl 200 |
接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m |
|
|
|
|
|
接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m |
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分子泵应用 HiPace 80
分析仪器: 电子显微镜, 检漏, 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析
半导体: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks
工业: 医学技术, 工业检漏, 隔离真空, 灯管制造
研发: 核研究, 等离子研究, 粒子加速器, 冷冻研究, 纳米技术, 生物技术
上海伯东客户分子泵应用一：HiPace 80, HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长.
上海伯东客户分子泵应用二：HiPace 80, HiPace 300 用于SPECS 近常压光电子能谱仪设备
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上海伯东客户分子泵应用三: HiPace 80, HiPace 300 用于自主搭建真空腔体
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涡轮分子泵 HiPace 80 目前在售型号：
分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 40 ISO-F
分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 Profibus DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 Profibus DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 Profibus DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 电源 OPS 70 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 电源 OPS 70 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 电源 OPS 70 DN 40 ISO-KF
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